傳統(tǒng)的晶圓良率檢測(cè)方法有的如“鐵筆刻玉”，會(huì)造成晶圓表面不可逆的物理?yè)p傷；有的則只能“觀其大概”，存在較高的漏檢率和錯(cuò)檢率。良率無(wú)損檢測(cè)的技術(shù)空白嚴(yán)重阻礙了大面積顯示屏、柔性顯示屏等微型LED終端產(chǎn)品的量產(chǎn)。
近日，天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、精儀學(xué)院感知科學(xué)與工程系黃顯教授團(tuán)隊(duì)打破了微型LED晶圓測(cè)試瓶頸，實(shí)現(xiàn)了微型LED晶圓高通量無(wú)損測(cè)試，研究成果于13日在國(guó)際學(xué)術(shù)期刊《自然-電子學(xué)》刊發(fā)。
圖為柔性探針接觸LED晶圓后，點(diǎn)亮其中的一個(gè)LED發(fā)出藍(lán)色光。（受訪者供圖）
研究團(tuán)隊(duì)首次提出了一種基于柔性電子技術(shù)的檢測(cè)方法，該方法構(gòu)建的三維結(jié)構(gòu)柔性探針陣列，憑借其“以柔克剛”的特性能對(duì)測(cè)量對(duì)象表面形貌進(jìn)行自適應(yīng)形變，并以0.9兆帕的“呼吸級(jí)壓力”輕觸晶圓表面。
“該技術(shù)的探針接觸壓力僅為傳統(tǒng)剛性探針的萬(wàn)分之一，不但不會(huì)造成晶圓表面磨損，也降低了探針本身的磨損，探針在100萬(wàn)次接觸測(cè)量后，依然‘容顏如初’。”黃顯說(shuō)。
此外，團(tuán)隊(duì)還研發(fā)了與三維柔性探針相匹配的測(cè)量系統(tǒng)。通過(guò)探針和檢測(cè)系統(tǒng)的協(xié)同工作，為微型LED產(chǎn)品的高效工藝控制和良品篩選提供關(guān)鍵工具。
圖為測(cè)試系統(tǒng)中的柔性探針，當(dāng)探針接觸LED晶圓后點(diǎn)亮其中的一個(gè)LED發(fā)出藍(lán)色光，通過(guò)同軸光路可觀察光強(qiáng)和波長(zhǎng)信息。（受訪者供圖）
“我們實(shí)現(xiàn)了從零到一的突破，填補(bǔ)了微型LED電致發(fā)光檢測(cè)的技術(shù)空白，也為其他復(fù)雜晶圓檢測(cè)提供了革命性技術(shù)方案，隨著探針陣列規(guī)模與檢測(cè)通道的持續(xù)拓展，未來(lái)或?qū)⒃诰A級(jí)集成檢測(cè)、生物光子學(xué)等領(lǐng)域產(chǎn)生更廣泛影響。”黃顯說(shuō)。
據(jù)悉，目前該技術(shù)已在天開(kāi)高教科創(chuàng)園開(kāi)啟產(chǎn)品化進(jìn)程，未來(lái)將為國(guó)內(nèi)微型LED產(chǎn)業(yè)提供批量化、無(wú)損、低成本的檢測(cè)解決方案，進(jìn)一步拓展柔性電子技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域。
