6月24日,英國有機(jī)薄膜晶體管(OTFT)材料開發(fā)商Smartkem宣布,獲得了一項(xiàng)MicroLED顯示器制造新方法的專利,該專利涉及在Micro LED晶圓上圖案化OTFT背板,并選擇性移除Micro LED。
Smartkem董事長Ian Jenks表示,公司已建立起強(qiáng)大的知識產(chǎn)權(quán)組合,涵蓋17個(gè)專利族的共140項(xiàng)已授權(quán)專利。本次新獲得的專利是一項(xiàng)創(chuàng)新性的Micro LED顯示制造技術(shù),不僅提升了制造效率,還大幅降低了材料浪費(fèi)和生產(chǎn)成本。
據(jù)介紹,新專利技術(shù)提供了一種比傳統(tǒng)單片式(monolithic)Micro LED顯示器制造方式更高效、且可持續(xù)的替代方案。其原理為僅將所需的Micro LED從生長基底選擇性轉(zhuǎn)移至顯示基底,而非在單一基底上制造整個(gè)顯示器。
具體過程包括:首先準(zhǔn)備Micro LED晶圓并施加粘附層,使選定的Micro LED裸露,接著在粘附層上沉積OTFT背板,并精準(zhǔn)對位以連接裸露的Micro LED,最后將整個(gè)組件從原始晶圓上移除,并轉(zhuǎn)移至新的顯示基底。
與傳統(tǒng)Micro LED與晶體管在同一晶圓上生長的單片式制造方法不同,Smartkem的新專利技術(shù)采用“選擇性移除”Micro LED的方式,使得晶圓可以被多次重復(fù)利用,由此帶來的制造成本遠(yuǎn)低于一次性使用整片晶圓的傳統(tǒng)方式。
資料顯示,Smartkem是一家英國的有機(jī)薄膜晶體管(OTFT)材料開發(fā)商。2024年5月,Smartkem曾首次展示了基于其專有OTFT材料的Micro LED顯示屏樣品。該樣品為96x96像素的Micro LED陣列,采用藍(lán)寶石襯底,通過Smartkem材料進(jìn)行平面化處理,并利用光刻、蝕刻、濺射及金屬層圖形化工藝實(shí)現(xiàn)Micro LED的陰陽極接觸,以生成顯示效果。
今年1月,Smartkem宣布,已完成首次向合作伙伴上海芯元基半導(dǎo)體(Chip Foundation)出售TRUFLEX®半導(dǎo)體材料,雙方將采用這些材料共同開發(fā)用于液晶顯示器的新一代Micro LED背光技術(shù)。